半導(dǎo)體行業(yè)廢水處理解決方案

更新時(shí)間：2022-07-14　點(diǎn)擊量：2025

在半導(dǎo)體行業(yè)的晶圓制造廠生產(chǎn)過(guò)程中，半導(dǎo)體生產(chǎn)需要非常高質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)的復(fù)雜制造工藝（例如化學(xué)機(jī)械拋光CMP），因此會(huì)產(chǎn)生各種不同的生產(chǎn)廢水。

目前半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)廢水主要有三大類，分別是含氟廢水、含銅廢水以及含氨廢水，三類廢水因?yàn)樗|(zhì)復(fù)雜、污染物含量高，對(duì)環(huán)境均具有較為嚴(yán)重的影響，加強(qiáng)半導(dǎo)體生產(chǎn)廢水的處理是企業(yè)亟需解決的環(huán)保難題。

半導(dǎo)體含氟廢水處理

根據(jù)含氟廢水的特點(diǎn)，以及氟離子的理化特性，海普研發(fā)了系列高性能除氟吸附劑（如圖3所示），除了可用于常規(guī)含氟廢水的達(dá)標(biāo)處理，也可用于高氟高鹽料液，滿足客戶生產(chǎn)需求

某農(nóng)化企業(yè)生產(chǎn)中產(chǎn)生一股高氟廢水，需要達(dá)標(biāo)處理，經(jīng)過(guò)我司特種吸附劑處理后，數(shù)據(jù)如下表1所示

某鋰電回收企業(yè)，在有價(jià)金屬資源回收中產(chǎn)生兩股含高氟高鹽料液，需要除氟處理，要求不引入其他離子

經(jīng)過(guò)我司高選擇性除氟吸附劑處理后，相關(guān)數(shù)據(jù)見(jiàn)表2所示

由表2可見(jiàn)，海普除氟吸附劑性能優(yōu)異，另外，對(duì)相關(guān)吸附劑進(jìn)行了多批次穩(wěn)定性測(cè)試

半導(dǎo)體廢水除銅處理

海普除銅樹脂能深度吸附去除廢水中的銅，銅離子的去除率穩(wěn)定在90%以上，配合相關(guān)吸附工藝處理廢水時(shí)，廢水中的銅離子大部分被吸附脫除，銅離子被轉(zhuǎn)移至脫附液中，方便后續(xù)的回收副產(chǎn)品，滿足客戶排放要求的同時(shí)，不產(chǎn)生二次污染，保障了企業(yè)的正常運(yùn)行。

海普除銅樹脂產(chǎn)品及其配套組合工藝已幫助多家客戶完成了含銅廢水相關(guān)的處理需求

新建銅酸水吸附處理設(shè)施，總設(shè)計(jì)廢水處理規(guī)模為100m3/d，銅酸水銅離子含量高滿足不了生產(chǎn)要求，影響企業(yè)的穩(wěn)定生產(chǎn)。

海普選用除銅樹脂并對(duì)該廢水進(jìn)行了定制化的工藝設(shè)計(jì)，廢水設(shè)計(jì)指標(biāo)如下表。